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EBSD

技術コンセプト

SEMに搭載されているEBSD(Electron Back Scatter Diffraction)は、電子線の回折を用いて結晶方位を特定する強力な技術です。

近年、SEMのアクセサリーとして定着しているEBSDは、半導体産業における微細構造評価への応用が期待されています。SEMに搭載されたEBSDは、電子線の回折現象を利用して結晶方位を特定する強力な技術です。

 

電子線を試料表面に照射すると、後方散乱電子が発生します。この後方散乱電子による回折現象により、試料表面を通過する際に菊池線やパターンが形成されます。SEMチャンバー内の試料を70°前後に大きく傾斜すると、最適な回折信号の収集効率が得られます。EBSD検出器で解析された菊池線やパターンに付随する相対的な信号や情報から、各結晶粒の結晶方位を決定することができます。

 

結晶粒の結晶方位と結晶粒の回折状況を確認した後、境界面の特徴づけ、テクスチャー分析、歪み解析などの研究を行うことができるようになります。また、EBSDとEDXを併用することで、相分離や相分布の研究も可能です。

 

 

 

アプリケーション

  1. 下部構造解析

     

  2. 粒度・粒界分布

     

  3. 結晶方位解析

     

  4. 相の同定と分布

     

  5. 変形・再結晶構造解析

     

  6. テクスチャー分析

     

  7. ひずみ解析

 

 

 

事例

結晶方位マップ

位相マップ

 

 

結晶粒径分布

ずれ角分布

 

 

極点図

逆極点図

 

 

 

Q & A

Q1. EBSDの試料サイズは ?

A. 基本的には、縦・横・高さがそれぞれ1cm、1cm、0.5cm以下になります。なお、分析前に技術部門とご相談されることをお勧めします。

 

Q2. EBSD分析を行うために必要な試料の条件は ?

A. EBSD分析では、試料表面が十分に平坦であることが絶対条件です。EBSDの像質は、表面状態に大きく依存します。

 

Q3. EBSDで結晶粒間の方位角はどの程度まで識別できるのですか ?

A. 0.05°(理想的な場合)です。

 

Q4. なぜEBSD分析が必要なのですか ?

A. 結晶性材料はEBSDで分析することに意義があります。TEMやSEMでは、高分解能で結晶粒の形態を観察できたとしても、結晶粒の寸法や結晶方位の分布を定量化することはできません。

EBSDは、多くの結晶粒をカバーできる大面積のスキャン機能を有しています。このため、相の同定や分布、粒径や粒間のミスオリエンテーションの統計的な解析が可能となります。

 

Q5. EBSDで識別可能な最小の粒径は ?

A. 粒径の分析限界は50nm程度です。実はEBSDの解析には試料表面の状態が大きく影響します。一般的には、試料表面の平坦度が高いことが望ましいとされています。

 

 

担当者

名古屋ラボ|営業部

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: 052-705-1688 ext:1

: 070-2292-2051

: sales_japan@ma-tek.com

名古屋ラボ|新規事業開發部

長谷川 文哉

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