FTIR
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方式 |
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Fourier-Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) is a nondestructive analysis technology and the infrared observation properties of substance of interest can be obtained from transmittance/wave number relation. |
FT-IRは干渉計を用いて干渉パターンを誘導し、フーリエ変換を行うことで赤外線スペクトルに変換します。赤外吸収によって誘起された振動エネルギーと回転エネルギーのエネルギー準位間の差をFT-IR分光計で検出することができます。この技術は、主に有機官能基の決定、定性比較、半定量分析、少量の無機官能基の分析に使用されています。
FT-IRは非破壊分析技術であり、透過率/波数の関係から目的物質の赤外特性を得ることができます。一般に透過型FT-IRの波数は4000～400cm-1、減衰型全反射型FT-IRでは4000～650cm-1の範囲になります。
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保有装置 |
(a) Micro FTIR (Bruker Tensor 27+Hyperion 3000) |
(b) FTIR (Agilent Technologies Cary 630) |
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応用 |
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1．表面未知物質分析 |
データベースおよびフィンガープリントスペクトルと比較することにより、官能基を決定することができます。一般に、測定する物質のサイズは50μm以上、厚さは1μm以上の必要があります。このサイズよりも小さい場合は検討が必要です。
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2．定量的比較 |
- 表面の未知の物質は、プロセス中の既知物質や疑わしい物質と定量的に比較することができます。
- 同一サンプルまたは標準サンプルとテストサンプルを用いて正常領域と異常領域の比較ができます。
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3．半定量分析 |
通常は濃度が異なる既知の7試料を標準として半定量分析を行います。
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4．マッピング |
官能基の濃度勾配を分析でき、空間分布とともに局所スペクトルも提供できます。
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