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拡がり抵抗測定（SRP：Spreading Resistance Profile）は、接合深さ、抵抗、キャリア濃度/分布など、半導体材料の多くの特性を解析するための強力なツールです。 |
技術的なコンセプトは、一定の間隔でDUT上に配置した2つのプローブにバイアスをかけ、抵抗値を測定することです。接合深さおよびキャリア濃度を、計算後に得ることができます。
まず、サンプルを小さな傾斜角度を持つサンプルホルダーに取り付けます。ダイヤモンドペーストを使用して接合部の表面が露出したサンプルを準備します。次に、2つのプローブを使用してDUTのフラッシュ表面の抵抗を測定します。最終的に、深さに対する抵抗率またはキャリア濃度が得られます。
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保有装置 |
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応用 |
キャリア濃度とキャリア濃度のデプスプロファイル
深さ抵抗率分布分析
ジャンクション深さの分析
深部接合部の濃度分布分析
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