扫描式电容显微镜(SCM)
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技术原理 |
扫描式电容显微镜可观察二维掺杂影像，并可分辨N型区域与P型区域，对于掺杂异常分布所导致的故障及逆向工程分析相当有帮助。
除此之外，此分析技术可补其它分析技术之不足，如：二次离子质谱仪(SIMS)分析与展阻分析仪(SRP)仅能呈现一维分布及SEM搭配化学蚀刻染色之分析技术不易精确控制蚀刻率等。
扫描式电容显微镜建立于扫描探针显微镜的架构上，因此其平面解析度可达20奈米，分析时加AC电压于金属镀膜探针上，量测dC/dV讯号转换为二维掺杂分布，可分辨出N型与P型区域及其界面。
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图-1 扫描式电容显微镜主要应用于二为载子浓度影像的观察与分析
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分析应用 |
- N型与P型掺杂分析
- P-N接面分布分析
- 因掺杂分布异常导致故障/漏电分析
- 逆向工程分析掺杂二维分布
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机台种类 |
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图-2 Bruker D3100, Multiprobe Hyperion
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应用实例 |
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图-2 (a) 截面分析显示SRAM样品的掺杂类型及分布； (b) CIS array掺杂分布
图-3 Trench掺杂平面分布 |
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常见问题 |
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Q1. SCM 可以进行浓度的分析嗎 ? |
A. 因SCM讯号强度会受样品表面的情况所影响，所以无法直接从SCM来判定样品的浓度，建议可以搭配SIMS或SRP来进行浓度的量测。
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Q2. SCM 解析度最小可以到多少 ? |
A. SCM使用Contact mode量测，一般解析度可达0.1um，若需要更加的解析度，本公司还有Nanoprobe高阶机台可以进行更高解析度的SCM分析。
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Q3. SCM 可以做样品的 Plane View 吗 ? |
A. 可以，在进行Plane View分析之前会先将样品表面所有结构都去除，然后就可以分析啰!
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Q4. SCM 可以针对特定 Contact 来分析吗 ? |
A. 可以，针对特定的Contact Array我们会使用特殊定位方式再进行试片制备，确保分析位置的准确性。
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Q5. SCM 可以提供哪些资讯呢 ? |
A. SCM除了可以提供样品N/P掺杂分布以外，也可以量测出各区域的尺寸，例如掺杂厚度、Channel length、Trench掺杂深度、Source/Drain大小, N/P well界面等资讯。
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联络窗口 |
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