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太陽能電池分析實例 |
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太陽能電池結構的平面圖 |
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非接觸式3D表面輪廓儀 |
應用領域
- 平面度，表面粗糙度，台階高度，變形和波紋度
- 2-D和3-D輪廓
好處
- 準確，快速且無需樣品製備
- 可以對非常廣泛的表面高度進行輪廓分析。（〜180微米）
- 光學表面輪廓儀的優點包括
1．出色的高度分辨率
2．高測量速度
3．能夠執行精密表面的非接觸式測量
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表面缺陷表徵
(a)OP；(b)SEM；(c)在FPC上形成金屬指；(d)光掩模檢查
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表面紋理（形態） |
奈米視圖（光學輪廓儀）：表面粗糙度的定量表徵
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表面紋理化（形態，粗糙度） |
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細胞結構 |
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正面表面紋理化 |
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背面鋁BSF |
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SEM – BSF染色 |
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SEM – 發射極結染色 |
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基板針孔 |
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(a)FIB 圖像；(b)SEM 圖像
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FIB 切割基板針孔 |
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基板針孔 (X-TEM) |
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基板針孔 |
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截面TEM
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EMMI 缺陷定位 |
- 洩漏（結/氧化物）：氧化物洩漏（低溫）、補漏等
- 熱電子（散裝）
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多晶矽太陽能電池的EL圖像 |
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矽太陽能電池FA的EMMI分析 |
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EMMI＆TEM的矽太陽能電池FA |
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SIMS 應用 |
- 超淺結分析
- 非常薄的層（十埃）分析
- 摻雜輪廓/深度輪廓
- 背面銅擴散
- 污染驗證
- 出色的檢測限（ppm到ppb）
- 可以檢測所有元素和同位素，包括H
- 極好的深度分辨率，可能達到1nm
- 通過標準參考定量
- 絕緣子可以測量
(a)超淺結 |
(b)高深度分辨率 |
 (a)CAMECA ims-6f，高透射率和高質量分辨率 (b)ATOMIKA sims 4500，高深度分辨率，超淺結 |
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矽太陽能電池的SIMS分析 |
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