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FIB線路修補

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永續報告書

電性量測

技術原理

電性量測的目的,是為了驗證及量測半導體電子元件的參數與特性,如電壓-電流、電容-電壓特性曲線、電阻、電容、電感值量測或訊號波形等,藉此了解元件的失效行為以推測可能的故障機制,並決定後續的分析動作。

 

閎康亦針對 chip level 提供硬針及軟針 (主要針對線路修補後之電性量測及驗證) 之探針量測服務,配合 probe station 與針座的架設,可同時點六根針,probe station 上配有 Laser cutting system,可做為定位之用。

 

 

 

機台種類

圖 (a) 半導體參數分析儀 (HP4156C) 

圖 (b) 半導體參數分析儀 (Keysight B1500A)

 

 (c) 高壓電源供應器 (Keithley 2410)

 (d) 高壓電源供應器 (Keithley 2290, 5KV/5mA)

 

 (e) 三輸出電源供應器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A)

 (f) 電源供應器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A)

 

 (g) 數位電錶 (34401A) 

 (h) 示波器 (DSO-X 3104A)

 

 (i) 直流電子負載 (DC Electronic Load 63600)

圖 (j) 訊號產生器 (Keysight 33500B)

 

圖 (k) 高功率器件分析儀 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A)

 

 

 

  

分析應用

極低的漏電流測量 (例如光二極體或太陽能電池的暗電流測量)、CMOS 電路、雙極性元件、BiCMOS IC 的半導體參數測量 (或者是 Spice 參數測量),開/短路試驗、C-V 測量、電感測量和 IC 直流/交流測試。

 

 (a) NMOS Vds-Ids 特性曲線

 (b) PMOS Vds-Ids 特性曲線

 

 

 

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