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3 nm-capable Nanoprobing System 最新先進製程 IV 特性量測與缺陷定位奈米探針系統

2021/10/28

全新 nProber IV 系統即將在閎康實驗室為您服務囉!

閎康科技最新引進了 nProber IV 系統,這是一種基於掃描電子顯微鏡 (SEM) 的先進製程 IV 特性量測與缺陷定位奈米探針系統,專門用於提高故障分析的工作效率,100eV 的操作電壓可以有效降低電荷累積,提高量測的精準度。

 

 

Key Features

  • 3nm FinFET IV 量測
  • 100eV 操作電壓,有效降低電荷累積,提高量測精準度
  • EBIC 精準定位閘極氧化層崩潰點,進一步執行截面 TEM
  • EBAC 確認 IC metal interconnect 斷路與短路位置
  • EBIRCH 定位系統再進化,短路高阻無所遁形,可偵測 10W 阻抗
  • 750ps pulsed IV 量測,偵測閘極高阻之現象
  • Thermal Stage -40~150度,掌握元件溫度特性
  • CV 量測,量測元件寄生電容效應

了解更多技術內容:〔 Nano Probing 〕