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EDN Taiwan 2021年12月號雜誌封面故事：縱橫半導體檢測 TOF-SIMS扮演要角 |
閎康科技具有最頂尖的表面分析設備飛行時間式二次離子質譜 (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry，TOF-SIMS)，半導體元件持續在結構及材料上創新，而這些元件及製程的研發都更仰賴高階的先進分析技術。TOF-SIMS 表面分析技術能夠同時兼顧靈敏度及解析度的分析需求，因此廣泛應用在有機與無機材料的分析，半導體先進材料研究、先進製程開發及先進封裝製程改善，甚至生醫研究等領域。
閎康科技將 TOF-SIMS 技術刊登於 「EDN Taiwan 2021年12月號雜誌」封面故事，由閎康科技專案管理處王世杰副處長及雷秀玲主任工程師撰寫，透過幾個實際應用案例幫助讀者深入了解這項分析技術。
