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TEM / EDS 功能再進化,元素分析與濃度分佈解析大躍進!

2021/02/10

無窗式設計使輕元素偵測效能顯著提升、超大面積構造為偵測效率帶來加分效果、優異的元素濃度層別辨別能力,EDS detector新型機台規格躍升,資料判讀更具說服力!

EDS在半導體結構與故障分析的領域中因為其使用的便利性一直扮演著非常重要的角色,在結構組成或者缺陷來源的層別上都離不開EDS元素分析的功能,但同時身為材料分析實驗室最常遇到的客戶的疑問就是:能不能知道個別元素的佔比?可不可以分辨重疊波峰的元素?

 

沒錯!EDS畢竟是半定量的分析儀器,有其先天上的弱點,碰到這類問題時,往往需要間接的手法或者替代的機台來解決,於是乎,閎康科技為徹底解決這類難題,特別引入最新的EDS detector,期能為資料判讀上更具說服力。 

 

閎康科技新購之EDS detector是架設在TEM上,其無窗式的設計使輕元素的偵測效能有顯著的提升,超大面積的構造則為偵測效率帶來加分的效果,尤其在元素的濃度層別上具有優異的辨別能力。

 

當分析EDS mapping時,搭配色階列,對於元素含量的多寡分佈更是一目瞭然,總結其具有原子級的分辨力、快速的數據收集與微量元素分析等特點,是元素分析與濃度分佈解析上不可多得的利器!

 

溝槽結構中觀察Ta的濃度變化,其濃度的佔比可由右側之色階列明顯看出

 

 

LED MQW/super lattice中主要元素Al, In 的分佈圖,從色階列可知其濃度的級別