化学エッチングによる封止剤の除去
化学エッチングによる封止樹脂除去は、化学溶液を利用してICの封止樹脂部分をエッチングの方法で除去し、チップを露出させることを目的としています。
機械の種類
自動去封装システム
NSC-PS101化学酸槽
超音波振動子
分析アプリケーション
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図2 光学顕微鏡撮影 (OM Imaging)

図3 走査型電子顕微鏡撮影 (SEM Imaging)
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