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EFA
電気的故障分析

電気測定は故障解析と信頼性評価プロセスにおける第一ステップとして、非破壊的な測定方法を通じて、素早く部品に異常が存在するかどうかを判断し、その後の材料分析、構造分析、または破壊的分析の範囲を効果的に絞り込み、全体的な分析効率と精度を向上させることができます。

 

電気測定の目的は、半導体電子部品の重要な電気的パラメータと動作特性を検証し、定量化する。電圧–電流(I-V)、容量–電圧(C-V)特性曲線、抵抗、静電容量、インダクタンスおよび信号波形などの測定結果を含み、正確な電気測定を通じて、エンジニアがデバイスが設計仕様に適合しているかどうかを判断し、異常な動作の背後にある原因をさらに分析するのに役立ちます。失効モードと故障メカニズム、その後の故障分析(FA)、信頼性検証またはプロセス改善の重要な根拠として。

 

MA-tekチップレベル(Chip Level)測定能力|ハードプローブとソフトプローブの検出をサポートし、多様な分析ニーズに対応します。

MA-tekは提供できますチップレベルの電気測定サービス、ハードプローブとソフトプローブの検出方法をサポートしており、特にソフトプローブは適しています。回路修理後の電気検証と確認。測定作業は高精度と組み合わせてProbe Station とカスタマイズされたプローブホルダー、最大6本で多点接触を同時に行い、測定効率と安定性を向上させます。Probe Stationは統合されています。Laser Cutting System正確な測定領域の位置決めを支援し、微小構造や局所的な電気分析のニーズに対応します。

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MA-tekの測定機器とシステム構成|低電流から高出力までの完全な電気測定範囲をカバー

MA-tekは、低漏れ電流デバイスから高出力デバイスまでのテストニーズに対応する完全な電気測定設備の組み合わせを構築しています。主な設備は次のとおりです:

  • 半導体パラメータ分析器

    • HP 4156C

    • Keysight B1500A

  • 高出力デバイス分析器

    • Keysight B1506A(±3 kV / 20 A)

  • 高圧電源供給装置

    • Keithley 2410

    • Keithley 2290(5 kV / 5 mA)

  • 多出力と一般的な電源供給装置

  • デジタルマルチメーター(DMM)とオシロスコープ

  • 直流電子負載(DC Electronic Load)

  • 信号発生器(Function Generator)

設備間の統合配置を通じて、DC、AC、および動的電気測定を柔軟に実行できます。

  • 図|半導体パラメータアナライザ (HP4156C)
  • 半導体パラメータ分析器 (Keysight B1500A)
  • 高圧電源供給装置 (Keithley 2410)
  • 図|高圧電源供給装置 (Keithley 2290, 5KV/5mA)
  • 図|三出力電源供給器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A)
  • 図|電源供給器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A)
  • 図|デジタルテスター (34401A)
  • 図|示波器 (DSO-X 3104A)
  • 図|直流電子負荷 (DC Electronic Load 63600)
  • 図|信号発生器 (Keysight 33500B)
  • 図|高功率器件分析儀 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A)

 

Service Examples
サービス

PEM-CCD

InGaAs インジウムガリウムヒ素 微光顕微鏡

C-AFM 導電原子力顕微鏡

ナノプローブ電気測定技術

SEMベースのナノプロービング

Thermal EMMI

OBIRCH レーザー光束抵抗異常検出

EBIRCH 電子ビーム誘起抵抗変化技術

EBAC電子ビーム吸収電流分析技術

EBIC電子ビーム誘発電流分析技術

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