XPS X線光電子分光計

X線光電子分光装置（X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS）は高感度の表面分析技術であり、材料表面の元素の組成と化学結合状態、材料の表面がX線照射を受けると、発生します光電効果材料の内層軌道の電子が励起されて光電子として放出され、これらの光電子はエネルギー分析器によって測定され、その結合エネルギースペクトル異なる元素や異なる電子軌道は特定の結合エネルギーを持っているため、エネルギースペクトルを通じて判断することができます。元素の種類、元素の比率、化学結合状態。

さらに、元素が異なる元素と化学結合を形成する際、その電子の結合エネルギーに変化が生じます。化学シフト、例えば、金属の酸化度が高くなるほど、結合エネルギーは通常高くなるため、この特性を利用して材料を分析することができます。化学状態と酸化状態、XPSは主に材料表面を約測定します1–10 nm の深さ範囲の元素と化学情報であるため、非常に適しています。表面化学分析と薄膜材料研究。