OP 白光干渉計

白光干涉計は主に白光干渉（White Light Interferometry）原理を利用して表面測定を行います。白光が試料表面に照射されると、一部の光は試料表面から反射され、もう一部は参照鏡面から反射されます。二束の光が再び重なり合うと干渉縞が形成され、試料の高さをスキャンし干渉信号の変化を分析することで、システムは各位置の高さ情報を計算し、完全な三次元表面形状を再構築します。測定モードには以下が含まれます：

• 垂直スキャン干渉（Vertical Scanning Interferometry, VSI）：表面の起伏が大きいサンプルに適しており、マイクロメートルから数十マイクロメートルの高さの差を測定でき、パッケージ構造やMEMSデバイスの分析に一般的に使用される。
• 位相シフト干渉（Phase Shifting Interferometry, PSI）：平坦な表面のサンプルに適しており、ナノレベルの高さの解像度を提供し、表面粗さや薄膜の測定に一般的に使用されます。

白光干渉計は、三次元表面形状、表面粗さ、高さ測定、波浪度分析を提供します。