サンプル準備（Sample Preparation）は、分析と検査を行う前に最も基本的で、最も省略できないステップです。研磨、抽出、濾過、希釈などの物理的または化学的手法を通じて、サンプルを測定に適した状態に調整します。固体、液体、さらには半導体部品であっても、材料の特性に応じて異なる前処理が必要です。これらのステップは一見煩雑に見えますが、後続の分析結果が信頼できるかどうかに直接影響します。 IC設計が完了した後、機能テスト、信頼性テスト、故障分析を行うにしても、サンプルはまず適切に処理されなければ測定を開始できません。前処理が正確に行われるかどうかは、テストの精度に影響を与え、欠陥が見つけやすいかどうかにも影響します。したがって、サンプル準備は単なるプロセスの一環ではなく、成功を左右する重要なステップです。