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Package Structure

パッケージ構造と外観分析

パッケージ構造と外観は、プロセス品質を判断するための最初の関門です。外観、寸法、構造の測定を通じて、パッケージの変形、反り、または構造異常を早期に発見し、問題のさらなる拡大を防ぐことができます。

 

Optical Microscope

 

IC-Testing-3

 

Non Contact 3D Surface Profiler

 

Applications 

  • 平坦度、表面粗さ、段差高さ、変形および波打ち
  • 2-Dと3-Dプロファイル

 

優勢 

  • 精度が高く、迅速で、サンプルの準備は不要です。
  • An extremely wide range of surface heights is capable to be profiled. (~180μm)
  • The benefits of optical surface profilometry include
    - 優秀な高さ解像度
    - 高速測定
    - 繊細な表面の非接触測定を行う能力

 

表面欠陥の特性評価

  • (a) OP；(b) SEM；(c) LED ；(d) Au Bump

  • 100 μm バンププロファイラー

  • 20 μm バンププロファイル

SEMイメージング

 

 

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