表面テクスチャと形態分析
太陽光発電電池の表面テクスチャ(テクスチャリング)は、光の反射を減少させ、光の吸収効率を向上させることができます。通じて光学三次元表面プロファイラー(Optical Profiler)、SEMまたはTEM表面の微細構造と粗さの分布を観察し、プロセスの均一性と表面品質を評価する。
太陽能電池構造の平面図

非接触式3D表面プロファイラー

応用分野
- 平面度、表面粗糙度、台階高度、変形、波紋度
- 2-Dおよび3-Dプロファイル
メリット
- 正確で迅速、かつサンプルの準備が不要
- 非常に広範囲の表面高さに対して輪郭分析を行うことができます。(〜180ミクロン)
- 光学表面プロファイラーの利点には
優れた高さの解像度
2.高い測定速度
3.精密な表面の非接触測定を実行できる
表面欠陥の特性(a)OP;(b)SEM;(c)FPC上に金属指を形成;(d)光マスク検査
表面テクスチャ(形状)
ナノビュー(光学プロファイラー):表面粗さの定量的特徴付け
表面テクスチャ化(形状、粗さ)







