表面紋理與形貌分析
太陽能電池表面紋理(Texturing)可降低光反射並提升光吸收效率。透過 光學三維表面輪廓儀(Optical Profiler)、SEM 或 TEM 可觀察表面微結構與粗糙度分佈,評估製程均勻性與表面品質。
太陽能電池結構的平面圖

非接觸式3D表面輪廓儀

應用領域
- 平面度,表面粗糙度,台階高度,變形和波紋度
- 2-D和3-D輪廓
好處
- 準確,快速且無需樣品製備
- 可以對非常廣泛的表面高度進行輪廓分析。(〜180微米)
- 光學表面輪廓儀的優點包括
1.出色的高度分辨率
2.高測量速度
3.能夠執行精密表面的非接觸式測量
表面缺陷表徵 (a)OP;(b)SEM;(c)在FPC上形成金屬指;(d)光掩模檢查
表面紋理(形態)
奈米視圖(光學輪廓儀):表面粗糙度的定量表徵
表面紋理化(形態,粗糙度)







