FTIR 傅立葉轉換紅外光譜

Fourier-transform infrared spectroscopy
技術原理

傅立葉轉換紅外光譜儀(Fourier Transform Infrared Spectroscopy, FTIR)是一種利用紅外光吸收特性進行材料有機成分分析的光譜技術。

FTIR 透過干涉儀(Interferometer)產生干涉圖譜(Interferogram),再經由傅立葉轉換(Fourier Transform)轉換為紅外光光譜。

當紅外光照射到樣品時,有機分子中的有機化學鍵會吸收特定波長的紅外光,使有機分子產生振動與轉動能階變化,因此不同化有機學鍵會對應不同的吸收峰。

 

透過有機分析光譜中各吸收峰的位置與強度,即可判斷材料的有機化學官能基(Functional Group)與有機分子結構

FTIR 屬於非破壞性分析技術,常以**穿透率(Transmittance)對波數(Wavenumber)**繪製光譜圖來表示樣品對紅外光的吸收情形。

 

常見量測模式包括:

  • 穿透式(Transmission)

  • 衰減全反射式(ATR, Attenuated Total Reflection)

 

一般紅外光分析波數範圍為:

4000 – 650 cm⁻¹

分析應用

表面有機未知物分析

透過資料庫比對與光譜指紋區(Fingerprint Region)分析,可鑑定材料中的有機化學官能基與組成。

一般建議樣品尺寸:

  • 面積 > 50 µm

  • 厚度 > 1 µm

若樣品尺寸較小,可進一步評估適合的分析方式。

 

定性比對分析

可將樣品有機光譜與已知有機材料光譜進行比對,例如:

  • 製程材料與有機污染物比對

  • 正常區與異常區比較

  • 標準樣品與測試樣品比較

 

半定量分析

透過建立檢量線進行半定量分析,通常建議提供:

7 個不同濃度的標準樣品

以建立濃度與吸收強度之關係。

 

Mapping 分析

FTIR 可進行微區光譜 Mapping,分析指定區域內的有機官能基濃度分布。

例如:

  • 分析區域:30 µm × 30 µm

  • 同時取得 光譜資訊與空間分布圖

可用於研究材料組成在微區域中的分布變化。

機台種類
  • (a) Micro FTIR (Bruker Tensor 27+Hyperion 3000)

    此系統為 顯微紅外光譜分析儀(Micro-FTIR),結合 Bruker Tensor 27 FTIR 主機與 Hyperion 3000 顯微系統,可進行微區紅外光譜分析。透過顯微鏡光學系統,可精準定位樣品上的微小區域並取得紅外光光譜,適用於微區有機污染物、有機薄膜殘留物及有機材料組成分析。亦能在數十微米尺度區域進行量測,用於半導體製程有機污染分析、材料缺陷分析及微粒鑑定。

  • (b) FTIR (Agilent Technologies Cary 630)

    Agilent Cary 630 為一款 桌上型傅立葉轉換紅外光譜儀,具備體積小、操作簡便與快速量測的特點。系統通常搭配 ATR(Attenuated Total Reflection)模組進行量測,樣品可直接接觸晶體進行分析,無需複雜的樣品前處理。

    該設備適合進行有機材料的快速成分鑑定、有機官能基分析與有機材料比對,常應用於製程材料確認、有機污染物分析與品質檢測。

應用實例
  • Mapping:Acrylate, carbonate, carbohydrate, Calcium sulfate分布的情況

  • 可於mapping圖上任意選點即可得出對應點的FTIR光譜況

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