LED Surface Analysis
LED 表面形貌與製程分析
LED 晶片的表面結構與製程品質，會直接影響元件的光輸出效率、散熱能力與整體可靠度。在 LED 磊晶成長、蝕刻與表面粗化等製程過程中，若表面形貌或微結構出現異常，可能導致發光效率下降、光學分佈不均或元件性能不穩定。
表面型態
光學干涉形貌儀
掃描式電子顯微鏡
掃描式電子顯微鏡俯視圖；LED晶粒表面粗化觀察
晶片結構及薄膜厚度
掃描式電子顯微鏡
雙粒子束斷層掃描
雙粒子束斷層掃描精密縱切面圖
穿透式電子顯微鏡
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穿透式電子顯微鏡縱切面圖 -
(a)MQW and super lattice；(b)HR TEM of MQW；(c)PSS and buffer layer
