感應耦合電漿質譜分析儀
ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）
感應耦合電漿質譜分析儀（ICP-MS）是一種高靈敏度的元素分析技術，主要用於測定樣品中的微量元素與同位素組成。
ICP-MS 利用高溫電漿（Plasma）將樣品原子化並離子化，再透過質譜儀依據離子的**質荷比（m/z）**進行分離與偵測，
可同時分析多種元素並具有極低的偵測極限。
ICP-MS 具有高靈敏度、快速分析、多元素同時測定與寬廣動態範圍等優點，其偵測極限可達 ppt（10⁻¹²）等級，
因此特別適合進行微量元素與痕量污染物分析。在分析過程中，液體樣品通常經由霧化器轉換為氣霧狀後導入電漿火炬，
在約 6000–10000 K 的高溫電漿中被完全原子化並離子化，形成帶電離子後進入質量分析器，
依據質荷比進行分離並由偵測器量測訊號強度，最終得到樣品中的元素種類與濃度資訊。
技術特色
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極高靈敏度（ppt 等級偵測能力）
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可同時分析多種元素
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可進行元素同位素分析
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分析速度快、樣品需求量少
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適用於多種液體或溶解樣品
分析應用
材料純度與痕量金屬分析
分析材料中的痕量元素含量，用於評估材料純度與品質控制。
藥物與生醫樣品元素分析
可用於藥品、生物樣品或人體組織中的元素分析，例如藥物代謝與毒理研究。
食品與農產品安全檢測
分析食品中的重金屬或微量元素含量，確保食品安全與品質。
水質與環境監測
可檢測飲用水、地下水及工業廢水中的微量元素，進行環境監測與法規符合性檢測。
土壤與環境污染分析
分析土壤與沉積物中的重金屬元素含量，評估環境污染與生態風險。
半導體材料與晶圓污染分析
用於檢測晶圓、製程材料或化學藥液中的微量金屬污染，協助半導體製程品質控制。
重金屬與微量元素檢測
可分析樣品中極低濃度的金屬元素，如 Pb、Cd、Hg、As 等，廣泛應用於環境與產品安全檢測。
機台種類
Agilent 7700x ICP-MS
(MA-tek 配置 Agilent 7700x 感應耦合電漿質譜分析儀（ICP-MS），可進行高靈敏度的微量元素與同位素分析。ICP-MS 利用高溫電漿將樣品原子化並離子化，再透過質譜分析器依照離子的 質荷比（m/z） 進行分離與偵測，可同時量測多種元素並具備極低的偵測極限。
Agilent 7700x 採用高效能電漿系統與碰撞 / 反應池（Collision/Reaction Cell）技術，可有效降低干擾訊號，提升微量元素分析的準確度與穩定性，適用於半導體材料、環境樣品及生物樣品等多種分析應用。
系統特色
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ppt 等級偵測極限，適用於超微量元素分析
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多元素同時分析能力
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碰撞 / 反應池技術降低多原子干擾
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分析速度快、靈敏度高
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適用於多種液體與溶解樣品
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