化學質譜分析（Mass Spectrometry, MS）是一種高靈敏度的分析技術，可依分析需求，提供元素或有機物定性或定量的檢測資訊，廣泛應用於材料分析、半導體分析、晶圓表面元素及有機物污染檢測、物質成分分析、環境監測、添加物鑑別、生物醫學研究、釋氣分析、殘留物檢測、食品檢測與化學研究等領域。
質譜分析可用於鑑定未知化合物、分析分子結構、測定分子量以及進行微量元素與有機成分分析，質譜圖與光譜類似，但顯示的是樣品中不同質荷比離子的訊號強度，透過分析離子訊號與碎片結構，可以推斷化合物的組成、同位素比例與分子結構。閎康科技提供多種質譜分析服務，可應用於無機元素分析、有機物分析與微量污染物檢測：
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ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）：提供樣品微量元素檢測分析，具極佳靈敏度及偵測極限，廣泛運用如材料、土壤、環境水質、食品及藥物檢測、生物醫學等不同領域的元素分析。
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GC-MS（Gas Chromatography–Mass Spectrometry）：可在資料庫比對後，提供定性資訊，主要可針對弱 / 非極性有機物進行檢測；搭配熱脫附裝置，可進行釋氣(outgassing) 成分分析。
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LC-MS（Liquid Chromatography–Mass Spectrometry）：可針對極性有機物進行篩測，在標準品可取得前提時，提供定量分析資訊，亦可應用於水溶性有機物的藥殘留檢測。
用來測量質譜的儀器稱為質譜儀，其結構包括離子源、質量分析器與偵測器三大部分，質譜分析其基本原理是使試樣中的成份在離子源中發生電離，生成不同荷質比的帶正電荷離子，經加速電場的作用後，形成離子束、並進入質量分析器。
在質量分析器中，再利用電場或磁場使不同荷質比的離子在空間上或時間上分離，或是透過過濾的方式，將它們分別聚焦到偵測器而得到質譜圖，從而獲得質量與濃度 (或分壓)相關的圖譜。質譜儀種類非常多，從應用角度，質譜儀大致可以分成下列類別：
- 有機質譜儀，例如氣相色譜-質譜聯用儀 (GC-MS)、液相色譜-質譜聯用儀(LC-MS) 等。
- 無機質譜儀，例如電感耦合電漿體質譜法 (ICP-MS)、二次離子質譜儀 (SIMS) 等。
- 其它類質譜儀，例如電噴霧電離質譜、基質輔助雷射解析電離質譜等。
分析應用
常見的分析項目例如晶圓表面微量元素汙染、物質組成及成分檢測、添加物測定、釋氣檢驗、有機分子之分子量測定等等。
