Composition & Material Analysis
成分與材料分析
成分與材料分析透過高靈敏度的表面與微區分析技術，可深入解析材料的元素組成、化學鍵結、氧化狀態與晶體結構，為失效分析與製程優化提供關鍵依據。
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應用場景
- 表面污染與異物分析（Organic / Metal contamination）
- 薄膜材料成分與層間擴散分析
- 化學鍵結與氧化態判定
- 晶體結構與應力/應變分析
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核心價值
- 高靈敏度元素分析（ppm~ppb 等級）
- 可解析表面與深度方向成分分佈
- 建立材料失效與製程異常的根因依據
