電性量測是故障分析與可靠度評估流程中的第一步,透過非破壞性的量測方式,即可快速判斷元件是否存在異常,並有效縮小後續材料分析、結構分析或破壞性分析的範圍,提升整體分析效率與準確度。
電性量測的目的,在於驗證並量化半導體電子元件的關鍵電性參數與動作特性,包含電壓–電流(I-V)、電容–電壓(C-V)特性曲線,以及電阻、電容、電感與訊號波形等量測結果,透過精確的電性量測,可協助工程人員判斷元件是否符合設計規格,並進一步分析異常行為背後的失效模式與故障機制,作為後續故障分析(FA)、可靠度驗證或製程改善的重要依據。
閎康科技晶片層級(Chip Level)量測能力|支援硬針與軟針探測,對應多元分析需求
閎康科技可提供 Chip Level 電性量測服務,支援硬針與軟針探測方式,其中軟針特別適用於線路修補後的電性驗證與確認。量測作業搭配高精度 Probe Station 與客製化針座,可同時進行多點接觸(最多六針),以提升量測效率與穩定性;Probe Station 並整合 Laser Cutting System,可輔助精準定位量測區域,支援微小結構或局部電性分析需求。
閎康科技量測設備與系統配置|涵蓋低電流到高功率的完整電性量測範圍
閎康科技建置完整的電性量測設備組合,能對應從低漏電元件到高功率器件的測試需求,主要設備包含:
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半導體參數分析儀
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HP 4156C
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Keysight B1500A
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高功率器件分析儀
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Keysight B1506A(±3 kV / 20 A)
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高壓電源供應器
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Keithley 2410
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Keithley 2290(5 kV / 5 mA)
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多輸出與一般電源供應器
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數位電錶(DMM)與示波器
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直流電子負載(DC Electronic Load)
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訊號產生器(Function Generator)
透過設備間的整合配置,可靈活執行 DC、AC 與動態電性量測。
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圖|半導體參數分析儀 (HP4156C) -
半導體參數分析儀 (Keysight B1500A) -
高壓電源供應器 (Keithley 2410)
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圖|高壓電源供應器 (Keithley 2290, 5KV/5mA) -
圖|三輸出電源供應器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A) -
圖|電源供應器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A)
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圖|數位電錶 (34401A) -
圖|示波器 (DSO-X 3104A) -
圖|直流電子負載 (DC Electronic Load 63600)
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圖|訊號產生器 (Keysight 33500B) -
圖|高功率器件分析儀 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A)