EFA
電性故障分析

電性量測是故障分析與可靠度評估流程中的第一步,透過非破壞性的量測方式,即可快速判斷元件是否存在異常,並有效縮小後續材料分析、結構分析或破壞性分析的範圍,提升整體分析效率與準確度。

 

電性量測的目的,在於驗證並量化半導體電子元件的關鍵電性參數與動作特性,包含電壓–電流(I-V)、電容–電壓(C-V)特性曲線,以及電阻、電容、電感與訊號波形等量測結果,透過精確的電性量測,可協助工程人員判斷元件是否符合設計規格,並進一步分析異常行為背後的失效模式與故障機制,作為後續故障分析(FA)、可靠度驗證或製程改善的重要依據。

 

閎康科技晶片層級(Chip Level)量測能力|支援硬針與軟針探測,對應多元分析需求

閎康科技可提供 Chip Level 電性量測服務,支援硬針與軟針探測方式,其中軟針特別適用於線路修補後的電性驗證與確認。量測作業搭配高精度 Probe Station 與客製化針座,可同時進行多點接觸(最多六針),以提升量測效率與穩定性;Probe Station 並整合 Laser Cutting System,可輔助精準定位量測區域,支援微小結構或局部電性分析需求。

 

閎康科技量測設備與系統配置|涵蓋低電流到高功率的完整電性量測範圍

閎康科技建置完整的電性量測設備組合,能對應從低漏電元件到高功率器件的測試需求,主要設備包含:

  • 半導體參數分析儀

    • HP 4156C

    • Keysight B1500A

  • 高功率器件分析儀

    • Keysight B1506A(±3 kV / 20 A)

  • 高壓電源供應器

    • Keithley 2410

    • Keithley 2290(5 kV / 5 mA)

  • 多輸出與一般電源供應器

  • 數位電錶(DMM)與示波器

  • 直流電子負載(DC Electronic Load)

  • 訊號產生器(Function Generator)

透過設備間的整合配置,可靈活執行 DC、AC 與動態電性量測。

  • 圖|半導體參數分析儀 (HP4156C) 
  • 半導體參數分析儀 (Keysight B1500A)
  • 高壓電源供應器 (Keithley 2410)
  • 圖|高壓電源供應器 (Keithley 2290, 5KV/5mA)
  • 圖|三輸出電源供應器 (E3631A, 6V/5A, +/-25V/1A)
  • 圖|電源供應器 (BK LPS505n, 32V/3A, 15V/5A)
  • 圖|數位電錶 (34401A) 
  • 圖|示波器 (DSO-X 3104A)
  • 圖|直流電子負載 (DC Electronic Load 63600)
  • 圖|訊號產生器 (Keysight 33500B)
  • 圖|高功率器件分析儀 (Keysight B1506A, +/-3KV/20A)

 

Service Examples
服務項目

PEM-CCD

InGaAs 砷化鎵銦微光顯微鏡

C-AFM 導電原子力顯微鏡

AFM 奈米探針電性量測技術

SEM-based Nano-probing

Thermal EMMI

OBIRCH 雷射光束電阻異常偵測

EBIRCH 電子束誘發阻值變化技術

EBAC 電子束吸收電流分析技術

EBIC 電子束誘發電流分析技術

wechat

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