薄膜結構與厚度分析

太陽能電池由多層薄膜與功能結構所組成，包括抗反射層（ARC）、發射極（Emitter）、金屬電極以及背面鋁層（BSF）等，各層厚度與材料品質皆會直接影響光吸收效率、載子傳輸能力與整體轉換效率。透過薄膜與層結構分析，可完整解析太陽能電池截面結構、材料組成與界面品質，協助製程優化並提升電池效能與可靠度。

 

太陽能電池薄膜結構分析重點

 

針對太陽能電池多層膜堆疊結構進行截面觀察與材料鑑定，確認各功能層是否符合製程設計要求。

常見分析項目包含：

 

• 抗反射層厚度量測
• 薄膜厚度分析
• 發射極層結構分析
• 背面鋁 BSF 結構分析
• 多層膜堆疊結構觀察
• 薄膜材料成分分析

 

常用技術

 

• SEM / EDS
• TEM
• FIB 截面分析

 

SEM – BSF染色

 

 

SEM – 發射極結染色

 

 

基板針孔

 

   

 

(a)FIB 圖像；(b)SEM 圖像

 

FIB 切割基板針孔

 

基板針孔 (X-TEM)

 

 

截面TEM