薄膜構造と厚さの分析
太陽光発電セルは、多層薄膜と機能構造で構成されており、反射防止層（ARC）、エミッタ（Emitter）、金属電極、背面アルミ層（BSF）などが含まれています。各層の厚さと材料の品質は、光吸収効率、キャリア輸送能力、全体の変換効率に直接影響します。薄膜と層構造の分析を通じて、太陽光発電セルの断面構造、材料組成、界面品質を完全に解析し、プロセスの最適化とバッテリーの性能および信頼性の向上を支援します。
太陽光発電電池の薄膜構造分析のポイント
太陽光発電電池の多層膜スタック構造に対する断面観察と材料鑑定を行い、各機能層が製造プロセスの設計要件を満たしているかを確認します。
一般的な分析項目には次のものが含まれます：
- 反射防止層の厚さ測定
- 薄膜厚さ分析
- 発射極層構造分析
- 裏面アルミ BSF 構造分析
- 多層膜堆積構造の観察
- 薄膜材料成分分析
一般的な技術
- SEM / EDS
- TEM
- FIB 切断面分析
SEM - BSF染色
SEM – エミッタ接合染色
基板針孔
(a)FIB画像；(b)SEM画像
FIB基板のピンホール切断
基板針孔(X-TEM)
断面TEM
