化学質量分析（Mass Spectrometry,MS）は高感度の分析技術であり、分析のニーズに応じて元素または有機物の定性または定量の検出情報を提供し、広く応用されています材料分析、半導体分析、ウエハ表面元素及び有機物汚染検出、物質成分分析、環境モニタリング、添加物識別、生物医学研究、放出ガス分析、残留物検出、食品検査および化学研究など。
質量分析は未知化合物の同定、分子構造の解析、分子量の測定、ならびに微量元素および有機成分の分析に利用できます。質量スペクトルは光スペクトルと類似していますが、試料中の異なる質量電荷比のイオンの信号強度を示します。イオン信号とフラグメント構造を解析することで、化合物の組成、同位体比および分子構造を推定できます。MA-tekは多様な質量分析サービスを提供しており、以下に応用可能です：無機元素分析、有機物分析および微量汚染物質検出：
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ICP-MS（誘導結合プラズマ質量分析法）：試料の微量元素検出分析を提供し、優れた感度と検出限界を持ち、材料、土壌、環境水質、食品および医薬品検査、生物医学などさまざまな分野の元素分析に広く利用されています。
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GC-MS（ガスクロマトグラフィー–質量分析法）：データベースと照合後、定性的情報を提供し、主に弱極性/非極性有機物の検出を行うことができる。熱脱着装置と組み合わせることで、揮発成分分析を行うことができる。
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LC-MS（液体クロマトグラフィー–質量分析法）：極性有機物のスクリーニングが可能で、標準品が入手できる前提で定量分析情報を提供し、水溶性有機物の薬剤残留検査にも応用できる。
質量分析を測定するための装置は質量分析計と呼ばれ、その構造はイオン源、質量分析器、検出器の三つの主要部分から成り立っています。質量分析の基本原理は、試料中の成分がイオン源で電離し、異なる質量電荷比を持つ正に帯電したイオンを生成し、加速電場の作用を受けてイオンビームを形成し、質量分析器に入ることです。
質量分析器の中で、電場や磁場を利用して異なる質量電荷比のイオンを空間的または時間的に分離し、またはフィルタリングの方法を通じて、それらをそれぞれ検出器に焦点を合わせて質量スペクトルを得ることで、質量と濃度（または分圧）に関連するスペクトルを得ることができます。質量分析計の種類は非常に多く、応用の観点から見ると、質量分析計は大まかに以下のカテゴリに分けることができます：
- 有機質量分析計。例えばガスクロマトグラフ質量分析計 (GC-MS)、液体クロマトグラフ質量分析計 (LC-MS) など。
- 無機質量分析計。例えば誘導結合プラズマ質量分析法 (ICP-MS)、二次イオン質量分析計 (SIMS) など。
- その他の質量分析計、例えば、エレクトロスプレーイオン化質量分析計、マトリックス支援レーザー脱離イオン化質量分析計など。
分析応用
一般的な分析項目には、ウエハ表面の微量元素汚染、物質の組成および成分の検査、添加物の測定、揮発性物質の検査、有機分子の分子量の測定などがあります。
