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LED表面分析

LEDの表面形状とプロセス分析

LEDチップの表面構造と製造品質は、デバイスの光出力効率、熱放散能力、全体的な信頼性に直接影響します。LEDのエピタキシャル成長、エッチング、表面粗化などのプロセスにおいて、表面形状や微細構造に異常が発生すると、発光効率の低下、光学分布の不均一、またはデバイスの性能が不安定になる可能性があります。

 

表面形態

 

光学干渉形状測定器

 

走査型電子顕微鏡 

 

LED-11

走査型電子顕微鏡俯瞰図:LEDチップ表面粗化観察

 

 

チップ構造および薄膜厚さ

 

走査型電子顕微鏡

 

デュアル粒子ビームトモグラフィー

 

LED-14

デュアルパーティクルビームトモグラフィー精密縦切面図

 

透過型電子顕微鏡

  • 透過型電子顕微鏡の縦断面図
  • (a)MQWとスーパー格子;(b)MQWのHR TEM;(c)PSSとバッファ層

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