LED表面分析
LEDの表面形状とプロセス分析
LEDチップの表面構造と製造品質は、デバイスの光出力効率、熱放散能力、全体的な信頼性に直接影響します。LEDのエピタキシャル成長、エッチング、表面粗化などのプロセスにおいて、表面形状や微細構造に異常が発生すると、発光効率の低下、光学分布の不均一、またはデバイスの性能が不安定になる可能性があります。
表面形態
光学干渉形状測定器
走査型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡俯瞰図：LEDチップ表面粗化観察
チップ構造および薄膜厚さ
走査型電子顕微鏡
デュアル粒子ビームトモグラフィー
デュアルパーティクルビームトモグラフィー精密縦切面図
透過型電子顕微鏡
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透過型電子顕微鏡の縦断面図 -
(a)MQWとスーパー格子；(b)MQWのHR TEM；(c)PSSとバッファ層
